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碳化硅微粉的水力分級制法

　　
　　隨著碳化硅微粉近幾年的發(fā)展，碳化硅微粉憑借著展現(xiàn)自身的優(yōu)點，在各行業(yè)、各領域得到廣泛應用，并以各項高、精、科學技術迅速發(fā)展。但由于行業(yè)及用戶對碳化硅微粉的品質、純度提出了更高的要求，所以，在加工方法上不斷改進創(chuàng)新。
　　碳化硅微粉的提純，分級加工的方法，主要是以主導的水力精分選工藝方式，水溢流分選方式為主。生產(chǎn)出來的碳化硅微粉精分選應用效果好，純度高，粒度分布窄，品質穩(wěn)定。由于碳化硅微粉在冶煉及粉碎的過程中，會不可避免混入各種雜質，而這些雜質在碳化硅微粉的使用過程中，對其所加工的碳化硅微粉的質量和制造的半導體器件的性能等都有非常大的影響，增加制品的不良品率，降低加工品的表面加工質量等等。

　　碳化硅中的雜質主要有碳、三氧化二鐵、三氧化二鋁、氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等等。這些物質在碳化硅微粉做不同的用途時分別產(chǎn)生不同的影響，其中尤其以三氧化二鐵為重。而在碳化硅的工藝流程生產(chǎn)中較多的采用加酸除雜質的方式。這種方式的優(yōu)點是成本較低、除雜率高。